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吸气剂泵及复合泵系列
EMG系列吸气剂泵是以高吸气速率、大吸气量以及良好机械性能的烧结性多孔吸气剂为基础组装而成。与以前吸气泵相比,此类采用新的法兰设计,使得整个泵体组装集成度更高、更简单,稳定性更好。所采用的吸气材料具备更高的孔隙率,特别是所提供的吸气元件,具备多次吸气激活周期,从而延长了吸气泵的使用寿命。此类泵的抽气速率可根据客户环境需要选配,100L/s~2000L/s。
EMG系列吸气剂泵特色:
1,大吸气量、长寿命;
2,在高真空,超高真空以及极高真空中有持续优异的吸气速率;
3,氢气及其同位素吸放可逆,据此可作为氢泵使用;
4,吸气泵通过适当的工艺激活后可在环境温度(室温~200oC)
下工作,无需外接电源,真正实现便携;
5,无油、无任何振动;
6,体积小、质量轻。
应用场景:
可与离子泵、扩散泵、冷泵或分子泵搭配,提高极限真空;
真空装置、真空夹层以及镀膜沉积腔体;
便携式高真空存储器件。